
产品中心
Product Center
产品展示
产品型号
应用案例
通用参数
系统参数 |
|
飞秒激光器 |
1.脉冲能量:≥0.01mJ@1MHz |
2.平均功率:10W@1MHz |
|
3.脉冲宽度<300fs |
|
4.重复频率1Hz~1MHz |
|
5.加工光束中心波长517nm |
|
高精度位移台 |
1.六维度可操控(X、Y、Z、θX、θY、θZ) |
2.平移行程100mm×100mm×20mm |
|
3.平移重复定位精度±75nm |
|
4.旋转重复定位精度≤0.001° |
|
高精度公里级光纤自动加工模块 |
1.适合光纤直径范围100-250μm |
2.最大送纤速度50m/mim |
|
镜头 |
支持20X、50X、60X、100X多种物镜倍率加工 |
加工特性 |
1.晶体表面加工线宽小于200nm |
2.光纤光栅加工单光栅最大加工长度15mm |
|
3.光栅加工周期小于1μm |
|
选配模块 |
1.空间光调制器 |
2.折射率表征模块 |
|
3.高速扫描振镜 |
|
4.高精度焦面自动跟踪模块 |
|
5.聚合物材料光刻系统 |
|
软件配置 |
1.支持多种加工图形导入 |
2.软件支持结构设计、脚本化编程 |
|
3.针对光纤光栅刻写加工,支持逐点扫描法、逐线扫描法、变迹扫描法、多芯并行扫描法等多种加工方法 |
|
4.支持纤芯自动识别、对准、调角 |
电极制作
刻写光栅
套刻
大面积刻写