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系统参数
最小线宽 ≥800nm
加工面积 ≤80mm*80mm
灰度等级 ≤512阶
最小表面粗糙度 ≤30nm
扫描速度 ≤100mm/s*通道数
基台尺寸 ≥2inch

 


产品型号 应用案例

通用参数

 

系统参数

飞秒激光器

1.脉冲能量:≥0.01mJ@1MHz

2.平均功率:10W@1MHz

3.脉冲宽度<300fs

4.重复频率1Hz~1MHz

5.加工光束中心波长517nm

高精度位移台

1.六维度可操控(X、Y、Z、θX、θY、θZ)

2.平移行程100mm×100mm×20mm

3.平移重复定位精度±75nm

4.旋转重复定位精度≤0.001°

高精度公里级光纤自动加工模块

1.适合光纤直径范围100-250μm

2.最大送纤速度50m/mim

镜头

支持20X、50X、60X、100X多种物镜倍率加工

加工特性

1.晶体表面加工线宽小于200nm

2.光纤光栅加工单光栅最大加工长度15mm

3.光栅加工周期小于1μm

选配模块

1.空间光调制器

2.折射率表征模块

3.高速扫描振镜

4.高精度焦面自动跟踪模块

5.聚合物材料光刻系统

软件配置

1.支持多种加工图形导入

2.软件支持结构设计、脚本化编程

3.针对光纤光栅刻写加工,支持逐点扫描法、逐线扫描法、变迹扫描法、多芯并行扫描法等多种加工方法

4.支持纤芯自动识别、对准、调角

 

 

电极制作

 

刻写光栅

 

套刻

大面积刻写

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