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产品型号
应用案例
通用参数
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系统参数 |
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支持打印高度 |
≤10mm |
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最高表面粗糙度(Ra) |
≤5nm |
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最小特征线宽 |
≤50nm（XY平面）和≤300nm（Z轴） |
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最小周期（XY平面） |
≤300nm; Z≤600nm; |
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最大扫描速度 |
≥100mm/s (1000mm/s@100倍物镜） |
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拼接精度 |
≤100nm（XY平面） |
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支持刻写区域（圆形） |
直径4英寸（可定制） |
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激光器参数 |
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中心波长 |
515±5nm |
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平均功率 |
≥1W |
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脉冲宽度 |
≤200fs |
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功率稳定性 |
<1%RMS |
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光束质量 |
<1.2 |
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重复频率 |
80±5MHz |
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系统尺寸 |
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外观尺寸 |
宽1700mm×深1500mm×高2200mm |
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重量 |
<2000kg |
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安装条件 |
千级以上洁净间;隔震等级优于VC-C |
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电气条件 |
220/380V、功率>5kW |
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环境稳定 |
20±1℃; ±0.1℃; 噪音<65dB; 湿度±5%(温控) |
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压缩空气 |
过滤至0.25μm，无油，稳定在0.5-0.6MPa，流量应在500-800SLPM |
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环境照明 |
黄光灯 |
联系方式
微信公众号
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手机/微信：+86 17357108903
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